Каковы принципы измерения вакуума — в пределах от 1 до 10^−10 мм рт. ст.?

Для не очень низких давлений можно использовать катетометр - оптический прибор (зрительная труба), с помощью которого можно с высокой точностью измерить высоту столбика ртути. С помощью катетометра можно измерить давление с точностью 0,01 мм рт. ст. Малые давления измеряют также ртутным манометром Мак-Леода, но он требует много ртути. Можно использовать также очень тонкие стеклянные мембраны, прогиб которых фиксируется с помощью зеркальца, отражающего луч света на шкалу, расположенную, например, в одном метре от зеркальца. Для давлений не менее 0,0001 проще всего использовать термопарную лампу, подключенную к вакууметру. В этом методе измеряется теплопроводность газа. Чем ниже давление, тем медленнее происходит теплоотвод от платиновой термопары в лампе к воздуху снаружи и тем сильнее разогрев, который создает разность потенциалов, а это напряжение легко измеряется с высокой точность. Если вакуум еще выше, используют ионизационные манометры, основанные на том, что чем меньше молекул газа в данном объеме, тем меньше ионизационный ток. А ионы образуются при столкновении молекул газа с электронами.